Nd:YAGレーザー精密切断装置(レーザー微細加工装置)
紫外領域の波長(355nm)・高い繰り返し周波数(10kHz)を持つレーザーを用い、試料ステージをコンピューター制御可能な精密切断装置。金属箔や薄いセラミックスの切断加工に用いる。
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