SEMラマン分光装置
SEM, EDSおよび顕微ラマン分光装置を組み合わせた、世界でもほ
とんど例のない新し い装置です。数ミクロンの微小試料の同じ領域
に対して、形状、化学組成、ラマン分 光分析が可能です。
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